日本technomu平面度測量機(jī)XY軸門型非接觸式 TFL3100 特點(diǎn)介紹

使用激光位移傳感器，固定工件，

在移動(dòng)傳感器的同時(shí)，以非接觸方式高精度測量工件表面高度方向的位移量，并使用專用軟件計(jì)算平面度。

待測量的物體范圍從晶圓到磨削的金屬產(chǎn)品或透明玻璃。

這是自動(dòng)判定作品合格與否的檢查機(jī)。

? 以低成本實(shí)現(xiàn)高精度測量 

 ? 高速XY平臺(tái)，數(shù)據(jù)采集速度快 

 ? 由于是非接觸式，因此無需擔(dān)心損壞測試對(duì)象。 

 ? 被測物體的影響很小 

 ? 可以測量從晶圓到研磨金屬產(chǎn)品或透明玻璃的任何物體 

 ? 采用石質(zhì)平臺(tái)作為底座，可實(shí)現(xiàn)長期穩(wěn)定的測量。 

 ? 多種測量模式快速測量 

 ? 通過登記工件的判斷基準(zhǔn)值，可以自動(dòng)判斷OK或NG。 

 ? 我們將根據(jù)工件制作測量臺(tái)等（請(qǐng)咨詢我們）。 

  ? 測量面積：200×200mm、300×300mm、其他按要求 

  ? 測量方式：XY掃描法 

  ? 可用的激光位移計(jì)：三角測量、共焦、光譜干涉激光、多激光同軸 

  ? 分辨率：~0.001μm（最大） 

日本technomu平面度測量機(jī)XY軸門型非接觸式 TFL3100 規(guī)格參數(shù)

尺寸20mm±3mm三角測距式激光器半導(dǎo)體激光波長650nm可見光CLAS3R輸出4.8mW0.02μm（注1）±20mmX=320mm（M）AX）Y=320mm（MAX）1μm/0.1mm/1.0mm/STEP（可選）30mm/SEC30μm以內(nèi)±1μm以內(nèi)5μm以內(nèi)約W600×H350×D600 140Kg以下PC/AT兼容機(jī)5相微步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器USB1.1/2.0約W388×H140×D205 7Kg以下支持OS Windows 7（32位）的外形、重量XY自動(dòng)載物臺(tái)部項(xiàng)