日本HORIBA用于半導(dǎo)體超純水二氧化硅監(jiān)測器 HORIBA/堀場 SLIA-300 特點介紹

超純水二氧化硅分析多項成果！

新的緊湊和高靈敏度性能。

超純水中的二氧化硅濃度對半導(dǎo)體/FPD 工藝中的產(chǎn)品精度和產(chǎn)量有重大影響。

我們將可靠地滿足1μg/L（1ppb）量級的測量要求。桌面型緊湊機身可在整個測量范圍內(nèi)進行高靈敏度測量。

憑借其高速響應(yīng)和自診斷功能等豐富的基本性能，以及新的高靈敏度性能，有力支持半導(dǎo)體/FPD制造的純水工藝。

日本HORIBA用于半導(dǎo)體超純水二氧化硅監(jiān)測器 HORIBA/堀場 SLIA-300 規(guī)格參數(shù)

高靈敏度、高重復(fù)性

一種新開發(fā)的細(xì)胞實現(xiàn)了可以處理低濃度的高靈敏度。

高速 5 分鐘測量可保證 0 至 2 µg/L 范圍內(nèi)的重復(fù)性為滿量程的 ±2%。

緊湊的桌面設(shè)計

新開發(fā)的電池實現(xiàn)了創(chuàng)新的緊湊設(shè)計。由于它是桌面型，因此可以適應(yīng)包括狹小空間在內(nèi)的各種安裝條件。也可以將其用作移動設(shè)備。

試劑消耗減少1/5

通過采用改進的反應(yīng)池，試劑消耗量減少至常規(guī)用量的1/5。可顯著降低試劑運行成本。

最多可測量 6 個點（可選）

測量點可從1點到6點任意設(shè)定。支持使用單個設(shè)備進行更多多點測量。

自診斷功能，監(jiān)控異常運行

樣水、試劑注入、校準(zhǔn)異常、池溫監(jiān)測、光源異常等操作異常自診斷。如果出現(xiàn)錯誤，將以文本形式發(fā)送一條消息并發(fā)出警告燈。