恩欣格Ensinger用于CMP研磨環的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導體行業

更新時間：2024-06-13

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Ensinger用于CMP研磨環的未填充PPS塑料聚苯硫醚用于半導體行業

TECATRON CMP natural是一種未填充PPS塑料 (聚苯硫醚)，專門針對CMP研磨環應用而優化，因此是恩欣格半導體行業產品系列中的一員。

TECATRON CMP natural材料具有的性能，相比標準PPS聚合物，在用作CMP研磨環時能減少微劃痕和晶圓級缺陷。

TECATRON CMP natural的原名是TECATRON SE natural。

材料選擇的關鍵挑戰是CMP研磨環材料性能的微小差異將影響襯墊凸起的形狀。

這種改變將導致不同數量的襯墊碎片，并影響碎片夾帶的程度，進而對CMP工藝的整體性能產生重大影響。

研究表明，TECATRON CMP在一定程度上磨損研磨墊，因此研磨墊粗糙度得到改善，從而提高了材料的去除率，同時也減少了缺陷。

(見研究報告，此產品在文章中被稱為TECATRON SE，是TECATRON CMP材料的舊稱)

與恩欣格所有半導體級材料一樣，TECATRON CMP natural管材的生產符合半導體的精確復制要求 (也稱為精確復制或CE)，與工業級PPS相比，它的質量控制更為嚴格。

與標準工業級PPS塑料相比，額外的質量控制和措施降低了材料的雜質風險，改善了其內部應力和尺寸穩定性。