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日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率

日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率 WATMASS MPH 100M

■低輻射/高導熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭,減少燈絲熱量的影響,實現超低氣體排放RGA,可在10 -10Pa范圍內進行氣體分析
■Ptlr合金柵+強電子轟擊脫氣通過這種機制,與傳統產品相比,氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。

  • 產品型號:WATMASS MPH 100M
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-05-07
  • 訪  問  量:540
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日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率 WATMASS MPH 100M 特點介紹


■低輻射/高導熱率0.2%BeCu合金離子源法蘭,減少燈絲熱量的影響,實現超低氣體排放RGA,可在10 -10Pa范圍內進行氣體分析

■Ptlr合金柵+強電子轟擊脫氣通過這種機制,與傳統產品相比,氫氣和ESD的偽峰值降低到1/1000以下。

■所有組件均在電爐中拆卸和脫氣。


日本vaclab超低氣體排放分析儀低輻射熱導率 WATMASS MPH 100M 規格參數


當使用閥門關閉并且不使用排氣泵時, WATMASS 可以保持 10 -7 Pa的真空長達一年。這意味著即使燈絲打開,從傳感器釋放的氣體也小于質量分析中因電離(泵送作用)而損失的氣體量。通過大幅降低氣體排放,我們實現了迄今為止不可想象的新氣體分析應用。

 通過將 WATMASS 與由 0.2%BeCu 合金(一種具有低輻射和高熱導率的低氣體排放材料)制成的測量系統相結合,可以通過簡單的樣品加熱機制進行各種新的氣體分析。換句話說,由于腔室和 RGA 不吸收從加熱機構發出的紅外輻射,因此不存在熱擾動,并且可以進行真實的氣體分析。另外,通過在排氣泵和腔室之間連接金屬閥門,并在腔室排氣后關閉閥門以將其密封,可以進行超痕量氣體分析。


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