日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭：ICF070  特點介紹

1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵（單電池）

2.用于排出殘留的氮氣和甲烷的泵

3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計

4.僅密封NEG即可達到的真空為10-8Pa，通過追加本機可達到10-10Pa臺可到達

5.即使在真空區域也能可靠地啟動放電（帶啟動按鈕）

6.NEG泵激活時可動作

7.SUS制、BeCu合金制

日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計 IMP&G 機頭：ICF070  規格參數

形式:IM P&G電極:圓筒陰極（Ta），螺旋陽極（W）排氣速度:1L/s（Ar），4L/s（CH4）適用NEG泵:50～2000L（H2）/s真空測量范圍:10-10Pa～10-3Pa泵殼體:SUS316L或0.2%BeCu釹磁鐵:4kG，烘烤溫度（80°C）薩馬科瓦磁鐵:3.8kG，烘烤溫度（280°C）電子沖擊加熱功率:1000V×100mA施加電壓:5kV，100μA安裝法蘭:ICF070（Cu襯墊）頭重量:2.8kg

■倒置磁控管型NEG輔助泵IMP&G是一種離子泵，當NEG泵抽真空至超高/超高真空時，可排出剩余的氬氣和甲烷。也可用作高精度冷陰極型真空計，可測量高達 1×10 -10 Pa的壓力。

■我們成功地為倒置磁控管型冷陰極真空計增加了排氣功能。傳統的倒磁控管型冷陰極真空計幾乎沒有抽真空作用，并且從未有過將倒磁控管型單元用作離子泵的泵單元的例子。之所以沒有排氣效應，是因為組成陰極的電極表面是氧化層。我們通過在真空中將陰極（Ta）加熱到1000℃以上，成功地產生了排氣效果。通過加熱，電極表面的氧化物被去除，稀有氣體離子通過捕獲（捕獲）被排出，這是在構成陰極的金屬之間捕獲離子的作用。