日本HORIBA崛場多氣體數字質量流量控制器
日本HORIBA崛場多氣體數字質量流量控制器

SEC-Z500X系列

數字式質量流量控制器

搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數字質量流量控制器暢銷型號。
實現了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內的快速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質量流量控制器也適用于各種制造流程。

• 多量程/多氣體適用
  可在用戶端更改氣體種類和滿量程流量。有助于減少備件等成本。

• 寬范圍
  可實現從微小流量（5SCCM F.S.）到大流量（500SLM F.S.）的精確控制

• 高精度
  ±1.0% 設定值（S.P.）保證

• 高速応答
  全范圍1秒以內(T98)

• 緊湊尺寸
  面間距離106mm（適用于50SLM以下、1/4VCR型），兼容1.125英寸氣體面板。

• 超清潔對應
  采用全不銹鋼結構的煤氣接口部件，內表面研磨處理為標準配置。
  
  

• SEC-Z500X系列

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• 數字式質量流量控制器

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• 搭載多量程/多氣體功能、用戶可自行更改氣體種類和流量范圍的數字質量流量控制器暢銷型號。
  實現了±1.0%S.P.的高精度、全量程1秒以內的快速響應、5SCCM至500SLM的寬量程。通信方式可從數字/模擬、DeviceNet™、EtherCAT®通信中選擇。這款質量流量控制器也適用于各種制造流程。

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