極少量から精密に噴霧し、平均粒子徑 5μm 程度の超微粒子を得ることができます。非常に小型なノズルで、20?750ワットのエアーコンプレッサーで運転が可能です。主な使用用途に、表面薄膜コーティングや科學?醫療分野における極少量の噴霧、室內や各施設などの殺菌、消毒などがあります。
AM6、12型は 極めて少ない流量を微細な粒子で噴霧する作業に適しております。圧縮気體流量も従來ノズルに比較し小流量です。主な使用用途として、半導體ウェハーへの精密スプレイ、電子部品?機能材料の製造工程における薄膜形成、散布?コーティングが挙げられます。